硅片刻蝕倒金字塔
想在硅片上刻蝕倒金字塔微結(jié)構(gòu)，要用硅片還是表面帶一層氧化硅的？如果有參數(shù)就更好了 謝謝~
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
嗯
一般用LPCVD沉積氮化硅的硅片，氮化硅厚度100nm以上一般都沒(méi)有問(wèn)題。可以找研材微納買，一般都有現(xiàn)貨。
硅片的晶向是100的，阻值選中等的，比如1~10Ωcm。最好選好一點(diǎn)兒的襯底，晶向相對(duì)更準(zhǔn)確的，
sio做掩膜，
·
是不是做的硅V槽啊