旋涂問題，求助~~~~
請問在叉指電極上旋涂敏感材料，怎么旋涂法?和旋涂膠一樣嗎？ 怎么避免不旋涂到pad上啊
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怎么都避免不了吧(╥ω╥`)
后面光刻對準(zhǔn)，顯影把pad圖形漏出來
梢圓慰糽ift off 工藝，但是需要確認(rèn)你的敏感材料是否耐溶劑。
或者使用shadow mask，這個需要你能做對準(zhǔn)，如果精度要求不高，可以手工對準(zhǔn)，