關(guān)于PUA漏字板的制備
PUA漏字板中,先用厚SU8 負(fù)膠圖案化硅片,再光刻,再刻蝕硅片,制備帶有凹槽的硅,以帶有硅為模板制備帶有凸起的PDMS,然后制備PUA漏字板。厚SU8負(fù)膠甩多厚?硅刻蝕多深?圖案化硅片的尺寸多大?
返回小木蟲查看更多
今日熱帖
PUA漏字板中,先用厚SU8 負(fù)膠圖案化硅片,再光刻,再刻蝕硅片,制備帶有凹槽的硅,以帶有硅為模板制備帶有凸起的PDMS,然后制備PUA漏字板。厚SU8負(fù)膠甩多厚?硅刻蝕多深?圖案化硅片的尺寸多大?
返回小木蟲查看更多
京公網(wǎng)安備 11010802022153號
這個要看你的要求啦,可以交流下
謝謝回復(fù)。你做過嗎
,
對,做到硅基或者PDMS都可以