求問在玻璃或者樹脂材料上刻柱子陣列的工藝
在玻璃或者樹脂材料上刻100微米邊長,300微米深度的柱子陣列(陣列周期300微米左右)
如題,柱子各個(gè)表面質(zhì)量要求較高,達(dá)到幾十納米級(jí)別的光潔度(非常重要),然后柱子側(cè)壁要求盡可能接近90度(非常重要)。納米壓印技術(shù)能做嗎?
或者其他廉價(jià)的適合小批量加工的方式都可以。感謝!
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在玻璃或者樹脂材料上刻100微米邊長,300微米深度的柱子陣列(陣列周期300微米左右)
如題,柱子各個(gè)表面質(zhì)量要求較高,達(dá)到幾十納米級(jí)別的光潔度(非常重要),然后柱子側(cè)壁要求盡可能接近90度(非常重要)。納米壓印技術(shù)能做嗎?
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
壓印難度也比較高,做這個(gè)柱子倒是可以嘗試,也只有深硅刻蝕能做了,表面光潔度沒問題
刻蝕深度和側(cè)壁傾角沒法做到吧,而且玻璃做不好
,
刻蝕出來柱子然后壓印的路線
結(jié)構(gòu)太深了,用納米壓印做的話工藝難度太高,脫模環(huán)節(jié)理論上是無法成功的