管式爐氮氣薄膜退火
最近用管式爐給薄膜退火，同樣的條件退火薄膜的阻值不一樣，像鎳鉻薄膜退火400多度應(yīng)該電阻下降反而上升了，退火完薄膜表面像被氧化了一樣，請問各位大神，這是什么情況呢？管式爐有通氮氣，氮氣的排放一開始接的水杯，后來換了硅油和直接排放到大氣中均出現(xiàn)這種情況，是不是應(yīng)該換管子了
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接水杯會出現(xiàn)阻值上升嗎
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