電子束光刻顯影不成功
求助一下，我做電子束光刻器件，光刻膠用PMMA,因?yàn)椴牧鲜菣C(jī)械剝離的光刻完會(huì)出現(xiàn)開(kāi)裂，現(xiàn)在把顯影液換成純IPA,做曝光劑量測(cè)試時(shí)器件總是有一部分顯影不出來(lái)，有蟲(chóng)蟲(chóng)遇到過(guò)這個(gè)問(wèn)題嗎
返回小木蟲(chóng)查看更多
今日熱帖
猜你喜歡
板塊導(dǎo)航
- 網(wǎng)絡(luò)生活
- 資源共享
- 化學(xué)化工
- 專業(yè)學(xué)科
- 科研生活
- 生物醫(yī)藥
- 材料
- 計(jì)算模擬
- 學(xué)術(shù)交流
- 出國(guó)留學(xué)
- 注冊(cè)執(zhí)考
24小時(shí)熱帖
換一批
- 下載小木蟲(chóng)APP
- 與700萬(wàn)科研達(dá)人隨時(shí)交流
-
二維碼
-
IOS
-
安卓
京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
加速電壓？線條寬度？曝光計(jì)量？
建議可以試一下MIBK
，