請(qǐng)問光刻工藝中超薄膠技術(shù)是什么？哪位大佬給介紹一下
請(qǐng)問光刻工藝中超薄膠技術(shù)是什么？哪位大佬給介紹一下，謝謝
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
啥超薄膠技術(shù)
表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測(cè)等工序。
您說的這是常規(guī)的光刻步驟，我問得是 什么是超薄膠工藝
，
超薄的光刻膠工藝
在滿足掩膜厚度的情況下，光刻膠越薄光刻工藝窗口越大。
請(qǐng)問為什么