納米壓痕儀 KLA G200-2
主要技術指標:
1、標準配置
載荷分辨率:50nN
最大壓痕或劃痕載荷:>500mN
位移分辨率:0.01nm
最大壓痕或劃痕深度:>500μm
儀器框架剛度:≥5x106N/m
壓頭更換所需時間: ≤60s
2、連續(xù)剛度測量
簡諧力頻率: 1~300 Hz
簡諧力振幅: 0.1 uN~4.5 Mn
3、納米力學顯微鏡
X & Y 掃描范圍: 100μm
X & Y 分辨率: 2nm
Z 掃描范圍: 500μm (for XP head); 15μm (for DCM head)
Z 方向分辨率:0.01nm
X,Y&Z 三個方向均有位移傳感器和閉環(huán)控制(反饋電路控制)
功能及應用范圍
一、標準配置
1、準靜態(tài)納米壓痕測試,可以獲得:載荷、壓痕深度、時間、硬度、彈
性模量、斷裂韌性、蠕變測量;
2、劃痕測試:表面形貌儀(臺階儀功能)、薄膜與基底的臨界附著力等;
二、連續(xù)剛度測量(動態(tài)測試)
1、壓入過程中實時顯示硬度曲線、彈性模量曲線、加載曲線、接觸剛度曲線、接觸面積曲線等
2、硬度-壓痕深度連續(xù)曲線;
3、彈性模量-壓痕深度連續(xù)曲線;
4、接觸剛度-壓痕深度連續(xù)曲線;
5、壓痕載荷-壓痕深度連續(xù)曲線
6、壓入深度-時間曲線(蠕變測量)
7、蠕變特性(蠕變應力指數)
8、貯存模量,損耗模量,阻尼
三、納米力學顯微鏡
1、 原位掃描成象;
2、 超高精度定位壓痕實驗(定位精度在幾個nm)
測試周期:1~3天,來樣即測!
有意請聯系我。!

納米壓痕.jpg
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京公網安備 11010802022153號
測試請聯系趙卓老師,15142221237
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