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離子鍍膜(PVD鍍膜)技術(shù),其原理是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)電離,在電場的作用下,使被蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。
采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點,膜層的壽命更長;同時膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。
PVD鍍膜技術(shù)是一種能夠真正獲得微米級鍍層且無污染的環(huán)保型表面處理方法,它能夠制備各種單一金屬膜(如鋁、鈦、鋯、鉻等)、氮化物膜(TiN
PVD鍍膜膜層的厚度為微米級,厚度較薄,一般為0.1μm~5μm,其中裝飾鍍膜膜層的厚度一般為0.1μm~1μm,因此可以在幾乎不影響工件原來尺寸的情況下提高工件表面的各種物理性能和化學(xué)性能,并能夠維持工件尺寸基本不變,鍍后不需再加工。
輝光放電時濺射技術(shù)的基礎(chǔ),濺射一般都是在輝光放電過程中產(chǎn)生的,濺射是用帶有高動能的粒子或者離子束轟擊固體表面,使靠近固體表面的原子獲得入射粒子所?,帶能量的一部分而脫離固體進入真空并沉積在產(chǎn)品上。
? ? ? ?影響濺射效果的因素:1.靶材;2.轟擊離子的質(zhì)量;3.轟擊離子的能量;4.轟擊原子的入射角。
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