如題,當樣品臺不旋轉(zhuǎn)時,單面涂層與靶材成分相近,誤差;當樣品臺旋轉(zhuǎn)時,涂層與靶材成分差距較大,如使用NiCrAl靶材,樣品涂層上就會出現(xiàn)Al含量較少的情況 返回小木蟲查看更多
這個現(xiàn)象還是第一次聽說
靶材成分與薄膜成分會有偏差,合金靶材中不同的元素濺射效率不同
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這個現(xiàn)象還是第一次聽說
靶材成分與薄膜成分會有偏差,合金靶材中不同的元素濺射效率不同
并不能解釋,基片運動與否的差異
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