天津大學(xué)精儀學(xué)院MEMS實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)建于2008年，依托于精密測(cè)試技術(shù)與儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，主要從事壓電薄膜基MEMS器件的設(shè)計(jì)、加工、應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)化推廣研究，目前已開發(fā)了包括濾波器、換能器、微傳感器、微執(zhí)行器等系列的微納器件，聚焦應(yīng)用于移動(dòng)終端、物聯(lián)網(wǎng)、虛擬現(xiàn)實(shí)、人工智能、可穿戴設(shè)備、航空航天、生命生物等領(lǐng)域。
   
       目前課題組獨(dú)立運(yùn)行超凈間約800m2，含有全套微納器件加工所需半導(dǎo)體加工儀器設(shè)備，是國(guó)內(nèi)高校較先進(jìn)和完善的集設(shè)計(jì)、加工、封裝、測(cè)試與應(yīng)用開發(fā)與一體的M/NENS基地。實(shí)驗(yàn)室學(xué)生可以接觸和學(xué)習(xí)的領(lǐng)域包括：半導(dǎo)體微納制造技術(shù)、MEMS器件設(shè)計(jì)及機(jī)械工程、儀器微型化技術(shù)、信息和電子電路工程技術(shù)、材料科學(xué)與工程、分析化學(xué)等非常廣泛和交叉的學(xué)科領(lǐng)域，能夠全面開闊學(xué)生視野。

       實(shí)驗(yàn)室歡迎具備物理學(xué)、儀器科學(xué)、機(jī)械工程、信息工程、電子工程、材料科學(xué)、分析化學(xué)等專業(yè)背景的學(xué)生來此施展才華。如有興趣，請(qǐng)與我們聯(lián)系，進(jìn)一步深入交流。
   
       郵箱：niupengfei2018@tju.edu.cn
       電話：18526330754(微信同號(hào)) 返回小木蟲查看更多