關(guān)于光刻膠選擇的問(wèn)題，請(qǐng)教一下前輩們
準(zhǔn)備制作微結(jié)構(gòu)材料，要直接用顯影后的光刻膠硅片做陰模，微結(jié)構(gòu)尺寸20微米，高度10微米，間距3微米，是用su-8還是AZ好一些呢？主要是精度要夠。
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都沒(méi)問(wèn)題！AZ陡直度差點(diǎn)！
我覺(jué)得沒(méi)有問(wèn)題，深寬比也只有3！您是間距3，又不是留下來(lái)3！精準(zhǔn)控制就看工藝了
也不說(shuō)做不到，相對(duì)很難！畢竟正膠！我7u直徑22u高柱子是做過(guò)！但是同比降下來(lái)還沒(méi)試過(guò)！
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