NR7 1500光刻膠顯影后有白邊
我使用的是ＮＲ７�。保担埃癙Y負(fù)膠，掩模版上的溝道是５ｕｍ,曝光7秒（顯示光強(qiáng)19.2mw/cm2)，顯影10秒，但是顯影完圖形邊緣存在白邊，這是因?yàn)轱@影不充分嗎
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是不是倒梯形的邊，如果是的話就正常，倒梯形側(cè)壁往里切，上面的邊沿比較薄可能會(huì)顯的亮一點(diǎn)，
up
已經(jīng)倒梯形了，你要想邊緣垂直的話減少點(diǎn)曝光時(shí)間，你這是接觸式曝光吧
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