陶瓷管鍍膜交流
我是做氣敏傳感器方向的，請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有使用過(guò)磁控濺射給陶瓷管傳感區(qū)濺射一層致密并且均勻的薄膜。
能相互探討一下嗎？
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
磁控濺射ZnO薄膜
，
鍍倒是能鍍上，但本身ZnO薄膜接近透明不好觀察，而且管的形狀導(dǎo)致沉積沒(méi)法均勻。受限于磁控設(shè)備，我也沒(méi)什么辦法調(diào)整。不過(guò)氣敏性能還是能出來(lái)
不知道樓主最近有沒(méi)有比較好的解決方案，能否請(qǐng)教一下