我是光刻小白,一直有個疑問:類似于做PCB的那種平行光曝光機和一般用于做MEMS的接觸式光刻機有什么區(qū)別?都是汞燈紫外線平行通過掩膜版(菲林)進行曝光,那他們的本質(zhì)差異是什么呀?望清楚的大神指點一下! 返回小木蟲查看更多
分辨率
光路
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分辨率
你好,謝謝您的回復,我知道他們的分辨率有差,但是不知道是哪里的差異導致分辨率不一樣呢?您看解釋下嗎
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