銅表面射頻磁控濺射鍍鋁
請(qǐng)問高手,我用射頻磁控濺射的方法在銅上鍍鋁,真空度6*10^-4,濺射的壓強(qiáng)為1.0pa,濺射的功率100w,靶基距8cm。濺射時(shí)間40分鐘以上。分別在不同的溫度下(50,100,150,200,400,500攝氏度)進(jìn)行實(shí)驗(yàn),每次都能正常起輝。但是沉積溫度在200,400,500攝氏度的時(shí)候就是鍍不上,當(dāng)沉積溫度是50,100,150攝氏度時(shí)就能鍍上。請(qǐng)問高手為什么會(huì)出現(xiàn)這種情況呢,或者有什么解決辦法嗎?各位有什么經(jīng)驗(yàn)傳授一下啊!萬(wàn)分感激!
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