旋涂法制備薄膜的技術(shù)屬于什么？
旋涂法制備薄膜的技術(shù)屬于什么？CVD嗎？還是溶膠-凝膠法
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號
coating
溶膠-凝膠法，spin-coating
旋涂跟CVD和PVD不是一回事。例如旋涂光刻膠，是先把液態(tài)的光刻膠滴在晶片中心，然后晶片旋轉(zhuǎn)，靠離心力將光刻膠均勻涂覆在整個晶片表面。例如PECVD沉積SiO2是先向反應(yīng)室通入硅烷和笑氣，加射頻激發(fā)等離子體，等離子態(tài)的硅烷和笑氣反應(yīng)生成氧化硅沉積在晶片表面。例如PVD沉積Cu是要有一個銅靶材，將Ar通入反應(yīng)室，在銅靶材上加直流或射頻電壓，通入的氬氣被電離成離子，轟擊靶材，被轟擊出的銅原子沉積在晶片表面。
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