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mmsabina

鐵桿木蟲(chóng) (正式寫手)

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【答案】應(yīng)助回帖

ZGmse(金幣+5): 應(yīng)用的話，也要把線長(zhǎng)出來(lái)啊。第一步?jīng)]做好，下面的也做不了。如果有經(jīng)驗(yàn)，還望指教。 2011-06-27 12:57:52

還做納米線合成呀，有點(diǎn)落后了，

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11樓2011-06-27 10:45:40

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yipinchun

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【答案】應(yīng)助回帖

ZGmse(金幣+30): 你的信息真的很好，我最頭痛的就是壓力控制這塊，能否告知壓力控制系統(tǒng)都包括什么儀器嗎？能進(jìn)一步的介紹一下嗎？多謝了！O(∩_∩)O~ 2011-06-27 22:30:12

引用回帖:

Originally posted by ZGmse at 2011-06-24 00:53:01:
各位蟲(chóng)友，本人原來(lái)是做材料加工的，現(xiàn)在做化學(xué)氣象沉積合成納米線，但是經(jīng)過(guò)幾個(gè)月的摸索，對(duì)于這個(gè)領(lǐng)域仍然有很多不清楚的地方，總是做不出好的結(jié)果，真的很是郁悶�，F(xiàn)在將自己大致不懂的問(wèn)題列舉出來(lái)， ...

1, 載氣流量控制系統(tǒng)-溫控系統(tǒng)-壓力控制系統(tǒng)
2, 加熱溫度選擇決定因素比較多，但是關(guān)鍵是看材料的蒸汽壓，比如說(shuō)氧化鋅，熔點(diǎn)1700°，大多數(shù)爐子達(dá)不到，但是在真空10-2torr下，其蒸汽壓和環(huán)境氣壓可比，蒸發(fā)速度就可以加快，1300°就可以合成氧化鋅納米線。如果要更低，那么就加入一些其他物質(zhì)比如說(shuō)石墨，使得c和氧化鋅反應(yīng)生成鋅，它的熔點(diǎn)就低很多，用這種方法反應(yīng)溫度可以降到1000°左右。但是各有各的好處。
3, 氣體流量是以N2的比重進(jìn)行標(biāo)定的。通常用MKS的MFC，比較貴，一個(gè)都要7-8k。其實(shí)這些都不要緊，普通的浮子流量計(jì)照樣可以用，至于試驗(yàn)中用多大，這個(gè)確實(shí)跟你用的爐子的管徑有關(guān)系，所以必須自己試驗(yàn)看效果。
4, 壓力控制，正壓和負(fù)壓的密封結(jié)構(gòu)是不太一樣的。壓力對(duì)產(chǎn)物還是有很大影響，比如第二點(diǎn)里面提到蒸發(fā)率和壓力或者真空有很大關(guān)系，如果你用常壓，你肯定得不到氧化鋅納米線，因?yàn)檫@個(gè)氣壓下氧化鋅的飽和蒸汽壓十分低，幾乎不蒸發(fā)。。。，然而不同的材料對(duì)壓力的敏感度是不一樣的。。。
5, 不用真空泵，計(jì)算整個(gè)腔體的體積，換2-3倍體積的氣體就可以了。。。如果不放心可以多換。。
6，文獻(xiàn)建議多讀類似的工作，可能有些trick沒(méi)有寫。。。
7，CVD無(wú)他，多燒自然有經(jīng)驗(yàn)。。。大牛一般現(xiàn)在也不管這些事情，都是手下人搞，問(wèn)了白問(wèn)。。。

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信春哥，得永生

12樓2011-06-27 14:15:36

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ZGmse

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13樓2011-06-27 22:32:10

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yipinchun

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【答案】應(yīng)助回帖

ZGmse(金幣+10): 這個(gè)控制器應(yīng)該加在入氣口前控制流入氣體的壓力，還是裝在出氣口和pump之間？主要是擔(dān)心如果放在出氣口，如果做一些會(huì)產(chǎn)生比較臟的副產(chǎn)物的實(shí)驗(yàn)，容易阻塞并損壞那個(gè)控制器~~~，謝謝！ 2011-06-28 18:00:01

引用回帖:

Originally posted by yipinchun at 2011-06-27 14:15:36:
1, 載氣流量控制系統(tǒng)-溫控系統(tǒng)-壓力控制系統(tǒng)
2, 加熱溫度選擇決定因素比較多，但是關(guān)鍵是看材料的蒸汽壓，比如說(shuō)氧化鋅，熔點(diǎn)1700°，大多數(shù)爐子達(dá)不到，但是在真空10-2torr下，其蒸汽壓和環(huán)境氣壓可比，蒸發(fā) ...

壓力控制最簡(jiǎn)單的就是前面幾位說(shuō)的搞個(gè)針閥來(lái)控制，0.1-x00 torr應(yīng)該是沒(méi)有什么問(wèn)題。這個(gè)就要自己手動(dòng)控制了。。。。

如果錢多，可以去買個(gè)MKS的壓力控制系統(tǒng)，一個(gè)控制器+一個(gè)閘板閥，我在別的實(shí)驗(yàn)室用過(guò)，0.02 torr-1000torr。但是不知道多少錢，我琢磨著起碼也要3w RMB以上。。。

MKS的東西就是貴。。。

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信春哥，得永生

14樓2011-06-28 01:46:25

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linyj632

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【答案】應(yīng)助回帖

ZGmse(金幣+20): 我們用的不是MKS的flow controller，是其他一些公司的，不知道質(zhì)量能不能保證，現(xiàn)在做不出結(jié)果，搞的我什么都懷疑，但是又不能換。暈！pressure controller是應(yīng)該在入氣口前面還是出氣口和pump之間��？謝謝！ 2011-06-28 17:56:30
ZGmse(金幣+10): 你們的pressure controller也是MKS的嗎？可以提供一點(diǎn)產(chǎn)品信息嗎？什么型號(hào)，多少錢？再有，我的flow controller不是MKS的（不可能換了），有什么方法知道到底準(zhǔn)不準(zhǔn)嗎？多謝！O(∩_∩)O~。 2011-06-28 18:08:13

1一套完整的CVD至少應(yīng)該包括flow controller （用來(lái)控制氣體的流量），爐子，pressure controller，
還有pump。

2溫度的關(guān)鍵在于什么樣的溫度下有你想要的反應(yīng)，你說(shuō)的大于熔點(diǎn)加熱，一般是physical vapor deposition，
不是CVD。

3。氣體的流量用flow controller控制，我們都用MKS的flow controller，，流速快慢非常有影響，具體影響看
系統(tǒng)而定，無(wú)法明說(shuō)，

4.壓力控制的第一句話是說(shuō)氣體的流量是120 sccm，反應(yīng)管里的壓力保持30 Torr，這個(gè)通過(guò)pressure controller控制

5. 常壓下也可以用真空泵啊，只是抽的速度可以很慢，一般的話系統(tǒng)里最好不要有氧氣，，

6. 好的文獻(xiàn)大部分是可以重復(fù)的，但是條件可能不一樣，因?yàn)檫@些都是跟實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)直接關(guān)聯(lián)，簡(jiǎn)單的說(shuō)
就是人家報(bào)道用10 Torr，可能你的系統(tǒng)15 Torr才能長(zhǎng)好，做科研當(dāng)然不能簡(jiǎn)單重復(fù)，要深入研究各種實(shí)驗(yàn)條件
的影響，，

7. 基本不用想，大牛都太忙啦，還是好好讀paper領(lǐng)悟其中的真諦，，，

8. 升溫速率當(dāng)然也有影響，，但是對(duì)每個(gè)系統(tǒng)都不一樣，，

CVD確實(shí)不好控制，但是就說(shuō)換成水熱確實(shí)也不一定完全正確，很多東西可能就要CVD做出來(lái)的好，好需求吧，

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15樓2011-06-28 02:01:33

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dazhi7758

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ZGmse(金幣+10): 謝謝！O(∩_∩)O~ 2011-06-28 17:51:57

1、一套完整的裝置就是加熱裝置，氣流控制裝置吧
2、有些是固體的需要先加熱成氣體，然后降溫反應(yīng)沉積，都是參照文獻(xiàn)和摸索吧
3、這個(gè)也需要摸索，需要買流量控制器，直觀好控。流量大小有影響的，不同反應(yīng)物流量不一樣，可能影響化學(xué)計(jì)量比�？偟牧髁坎灰粯�，得到的形貌大小也會(huì)不一樣。

5、常壓很簡(jiǎn)單，通保護(hù)氣就可以了，保護(hù)氣也可以作為載氣的，如果你需要2中所說(shuō)的。
6、文獻(xiàn)影響因子高的可信度高

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16樓2011-06-28 08:45:01

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ZGmse

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引用回帖:

Originally posted by yipinchun at 2011-06-28 01:46:25:
壓力控制最簡(jiǎn)單的就是前面幾位說(shuō)的搞個(gè)針閥來(lái)控制，0.1-x00 torr應(yīng)該是沒(méi)有什么問(wèn)題。這個(gè)就要自己手動(dòng)控制了。。。。

如果錢多，可以去買個(gè)MKS的壓力控制系統(tǒng)，一個(gè)控制器+一個(gè)閘板閥，我在別的實(shí)驗(yàn)室用過(guò) ...

關(guān)于針閥，雖然它連接到壓力計(jì)上可以調(diào)節(jié)壓力的大小，但是是不是通過(guò)改變氣體流量的方式？那樣的話，氣體流入管和流出管的速度就不是恒定了啊~~~

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17樓2011-06-29 00:15:31

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ZGmse(金幣+10): 能提供下你們所用的pressure controller的產(chǎn)品信息嗎？什么型號(hào)的，大概價(jià)格？非常感謝！O(∩_∩)O~ 2011-07-01 01:10:25

引用回帖:

Originally posted by linyj632 at 2011-06-28 02:01:33:
1一套完整的CVD至少應(yīng)該包括flow controller （用來(lái)控制氣體的流量），爐子，pressure controller，
還有pump。

2溫度的關(guān)鍵在于什么樣的溫度下有你想要的反應(yīng)，你說(shuō)的大于熔點(diǎn)加熱，一般是physical vapor d ...

pressure controller 是在pump之前，需要多精確要具體看實(shí)驗(yàn)的需要，比如我們用來(lái)長(zhǎng)Si納米線，要求可能就比較高，一個(gè)好pressure controller和flow rate應(yīng)該讓你很好的控制流量，比如你設(shè)在5 Torr，生長(zhǎng)的過(guò)程壓力很穩(wěn)定，而不是一直跳，，

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18樓2011-06-29 09:50:33

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ZGmse(金幣+10): 好的，謝謝你！O(∩_∩)O~ 2011-07-03 21:23:31

MKS 651C pressure controller

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19樓2011-07-01 03:32:30

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價(jià)格的是應(yīng)該是3000美金左右！不清楚現(xiàn)在國(guó)內(nèi)賣多少錢

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20樓2011-07-01 03:34:49

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