磁控濺射、電子束蒸鍍制備金屬薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金屬薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蝕加工
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381樓2013-11-25 19:06:34
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