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| 查看: 5480 | 回復(fù): 32 | ||||
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11樓2014-05-17 15:20:15
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kevin_yuan銀蟲 (初入文壇)
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12樓2014-05-17 15:24:31
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kevin_yuan銀蟲 (初入文壇)
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13樓2014-05-17 15:25:29
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kevin_yuan銀蟲 (初入文壇)
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14樓2014-05-17 15:34:23
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yswyx
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回復(fù)此樓
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專家經(jīng)驗: +651 |
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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你買回來的硅片表面本身就是納米級的粗糙度。國產(chǎn)硅片Ra是1~2nm，進(jìn)口硅片一般是小于1nm。 單晶硅本身是疏水的，但是會有原生氧化層，所以會表現(xiàn)的親水。用HF腐蝕掉原生氧化層，會表現(xiàn)出一定的疏水，但是在空氣中一暴露會迅速產(chǎn)生原生氧化層，變的親水。所以泡完HF最好立即使用。 當(dāng)然，我們還有很多的方法讓硅片表面疏水，比如鍍各種疏水薄膜。鍍膜會有一定的厚度，那么很多情況下大家不愿意用，所以還會有很多別的方法，比如表面處理。偶聯(lián)劑是一種常用的方法，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，有非常常用和便宜的偶聯(lián)劑，HMDS，浸泡，涂敷，熏蒸，都可以達(dá)到目的。plasma表面鈍化處理也是常用的方法，形成碳基的鈍化層，類似特富龍，疏水性很好。表面處理形成的薄膜會非常薄，都是納米水平的。 |
15樓2014-05-17 16:07:26
16樓2014-05-17 16:15:52
kevin_yuan
銀蟲 (初入文壇)
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17樓2014-05-17 16:23:04
ledlau
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18樓2014-05-17 20:13:19
般木
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19樓2014-05-17 21:48:20
spiderman504
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20樓2014-05-18 14:53:42
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