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1427970382新蟲 (小有名氣)
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[求助]
退火處理對晶體再生長有什么影響呢？
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晶體生長得到籽晶，對籽晶退火處理再去再生長相對于不退火直接再生有什么不同嗎？ @jackdeng @lich666 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
1427970382: 金幣+20 2018-08-24 21:35:49
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1.由于不同的溫度梯度會導(dǎo)致不同的晶向產(chǎn)生，如果需要做到降低成核缺陷，需要清楚<100>的成核機(jī)理，經(jīng)過查詢，大于186度的溫度梯度差，才能滿足形成<100>晶向的溫度要求。 2.通過改進(jìn)工藝，調(diào)整熱場結(jié)構(gòu)，生長速度得以控制。改進(jìn)后的多晶鑄錠生長段配方后，晶體的生長速度更加趨于平穩(wěn)，這樣有利于雜質(zhì)的均勻向上分凝。而與此同時保證界面的平穩(wěn)性可以控制雜質(zhì)的平穩(wěn)析出。在控制界面水平則可以實現(xiàn)成核的一致性，及達(dá)到均勻晶粒的細(xì)化技術(shù)。對于整個生長過程，界面溫度微凸是有利的，有利于雜質(zhì)的向外排出，但太凸，會導(dǎo)致邊緣16塊受損嚴(yán)重。通過穩(wěn)定熱場，優(yōu)化生長工藝，改進(jìn)生長界面實現(xiàn)了降低缺陷密度，提高硅晶體少數(shù)載流子壽命的目的，最終達(dá)到了提高硅晶體電池效率的目標(biāo)。 退火工藝 退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。準(zhǔn)確的說，退火是一種對材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。 退火段一般在1370左右，此時鑄錠仍在熔融狀態(tài)，雜質(zhì)仍然有分凝的過程，包括石墨件碳原子的游離等，此時氬氣仍然能帶走雜質(zhì)。 真空的話，雜質(zhì)留在爐腔，高溫下會分解，或者反向擴(kuò)散到鑄錠內(nèi)。退火是使鑄錠恒溫的過程，工控機(jī)顯示的只是熱偶探測的到的溫度，打個比方：探測點的溫度由加熱器供熱和鑄 |
2樓2018-08-21 13:54:23
1427970382
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
3樓2018-08-21 15:58:00
1427970382
新蟲 (小有名氣)
| 頂一下 |
4樓2018-08-23 18:37:00
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