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沒理想的香蕉新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PECVD生長SiO2薄膜出現(xiàn)褶皺 已有2人參與
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用PECVD生長0.5um的SiO2薄膜，從爐子里面拿出來不久就出現(xiàn)這種褶皺，求助大神們知道是什么原因嗎？ 基底是n型高摻雜Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm IMG_2612.JPG |
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7樓2015-01-22 09:45:52
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8樓2015-01-22 09:59:08
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