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沒(méi)理想的香蕉新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
PECVD生長(zhǎng)SiO2薄膜出現(xiàn)褶皺 已有2人參與
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用PECVD生長(zhǎng)0.5um的SiO2薄膜，從爐子里面拿出來(lái)不久就出現(xiàn)這種褶皺，求助大神們知道是什么原因嗎？ 基底是n型高摻雜Si(500um)+Au(200nm)，尺寸1.5*1.5cm IMG_2612.JPG |
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