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qingyuruan
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[求助]
Teflon干法刻蝕
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| 最近一直在做Teflon的刻蝕，使用了HARRICK PLASMA Cleaner和Alfar Q150等離子體去膠機(jī)兩臺(tái)進(jìn)行O2 plasma干法刻蝕，但是發(fā)現(xiàn)都去不掉。不管是光刻膠還是Teflon都很難去掉，延長(zhǎng)時(shí)間和強(qiáng)度感覺(jué)沒(méi)太大區(qū)別。跟文獻(xiàn)里面說(shuō)的打個(gè)幾秒就掉了完全不一樣。。。請(qǐng)問(wèn)是我用的儀器有問(wèn)題嗎還是什么原因?qū)е碌哪�？一般光刻膠或者Teflon干法刻蝕要怎么做呢？ |
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15190052720
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3樓2018-04-27 17:52:45
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2樓2018-04-27 17:47:19
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4樓2018-04-27 17:53:22
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