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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[求助]
薄膜的TEM測試顆粒度的大小 已有2人參與
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請問我想要用TEM測量沉積的Si薄膜的顆粒度大小 ， 樣品應(yīng)該如何準(zhǔn)備才好呢？ 聽人說薄膜需要直接在銅網(wǎng)上? 還是一般的沉積在基底上也可以？ 對薄膜厚度有何要求，樣品尺寸大小有何要求？ 謝謝大家 |
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kevin123581
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4樓2018-03-07 17:20:24
ekeyan 
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2樓2018-03-07 13:59:32
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
| 如果銅網(wǎng)直接沉積沒有影響那最好直接沉積到銅網(wǎng)，如果膜太厚或者銅網(wǎng)會有影響需要用轉(zhuǎn)移或者其他辦法處理，厚度越薄越好，高分辨盡量50nm以下 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
3樓2018-03-07 15:06:36
gxytju2008
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5樓2018-03-07 18:01:58
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