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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 薄膜的TEM測試顆粒度的大小
| 查看: 1677 | 回復: 10 | ||||
kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[求助]
薄膜的TEM測試顆粒度的大小 已有2人參與
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請問我想要用TEM測量沉積的Si薄膜的顆粒度大小 ， 樣品應該如何準備才好呢？ 聽人說薄膜需要直接在銅網(wǎng)上? 還是一般的沉積在基底上也可以？ 對薄膜厚度有何要求，樣品尺寸大小有何要求？ 謝謝大家 |
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【答案】應助回帖
感謝參與，應助指數(shù) +1
| 如果銅網(wǎng)直接沉積沒有影響那最好直接沉積到銅網(wǎng)，如果膜太厚或者銅網(wǎng)會有影響需要用轉(zhuǎn)移或者其他辦法處理，厚度越薄越好，高分辨盡量50nm以下 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
kevin1235813樓2018-03-07 15:06:36
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