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求助各位蟲友了，情況是這樣的我們的光刻機(jī)吸附不住掩膜版了。謝謝各位蟲友。 已有1人參與
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情況是這樣的，我們現(xiàn)在的光刻機(jī)，如果是用原廠的托盤（就是把光刻板吸附在哪個(gè)托盤上，具體我也不知道叫什么，我們都這么稱呼這個(gè)東西），正常匹配的光刻板就能正常使用。 ...... 我們要做大一號(hào)的光刻板，對(duì)應(yīng)我們也就做了，大一號(hào)的托盤，，但是現(xiàn)在找別人做的大一號(hào)托盤不能吸附住光刻板（據(jù)說(shuō)吸附的也是大一號(hào)的光刻板，比原來(lái)的沉一些，我懷疑可能是光刻板沉了，需要比原來(lái)更高的真空度，但是泵不能提供那么大的真空度；其實(shí)我最重要的懷疑那個(gè)托盤的表面平整度不夠，導(dǎo)致漏氣，不能提供那么大的真空度（但是托盤的平整度是咱們說(shuō)了不算的，還是先從自身找問(wèn)題吧，） ..... 我還是繼續(xù)描述我們的情況吧。（說(shuō)實(shí)話具體的情況我也不清楚，當(dāng)時(shí)試的時(shí)候不在現(xiàn)場(chǎng)，這個(gè)屬于半路接手吧。。。。。。。。。。。。。。）聽說(shuō)是就是那個(gè)托盤吸附不住光刻板，但是不清楚怎么吸附不住光刻板，①是直接就不能能吸附住，沒(méi)有吸附的這個(gè)過(guò)程；②還是有吸附這個(gè)過(guò)程，但是因?yàn)槁猓ɑ蛘咂渌脑猓┞耐碌魧?dǎo)致的吸附不住。③我也不清楚吸附的是大一號(hào)的光刻板，④還是我們正常的光刻板，⑤還是大一號(hào)壞的光刻板（具體哪里壞了我也不知道，估計(jì)應(yīng)該不影響使用，但是可能影響吸附，因?yàn)槟莻�(gè)光刻板好像是在另一臺(tái)光刻機(jī)上使用上的不用把光刻板吸附在托盤上，直接放在上面就行）。 寫的好像有點(diǎn)啰嗦，我表達(dá)能力是不好的，。。。謝謝大家， 以上就是我了解的情況，和我自己的分析，希望各位蟲友有知道，給我指導(dǎo)一下，謝謝了，大家也幫我分析分析，如果有遇到過(guò)這用情況的幫我指點(diǎn)指點(diǎn)，最好了，先謝謝大家了。 能不能是做這個(gè)托盤已經(jīng)違反了物理，光刻板的重量（重力）大于這個(gè)托盤完全吸附時(shí)（所能提供的吸附力），他那個(gè)托盤中間是空的，（這個(gè)中空的筐更大了）上下壓力不提供相等不提供向上的壓力，吸附的力量只是靠大氣的壓力差（和抽真空的地方相比）把托盤從下壓到上，吸附住托盤，（現(xiàn)在的情況是光刻板更沉了，重力更大了，相反抽真空的面積更小了，提供從下向上的壓力更小了，所以吸附不住了。） |
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4樓2017-02-26 07:44:30
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