 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門版塊排行榜 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1370 | 回復(fù): 9 | ||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
[求助]
求助各位蟲友了，情況是這樣的我們的光刻機(jī)吸附不住掩膜版了。謝謝各位蟲友。 已有1人參與
|
||
|
情況是這樣的，我們現(xiàn)在的光刻機(jī)，如果是用原廠的托盤（就是把光刻板吸附在哪個(gè)托盤上，具體我也不知道叫什么，我們都這么稱呼這個(gè)東西），正常匹配的光刻板就能正常使用。 ...... 我們要做大一號的光刻板，對應(yīng)我們也就做了，大一號的托盤，，但是現(xiàn)在找別人做的大一號托盤不能吸附住光刻板（據(jù)說吸附的也是大一號的光刻板，比原來的沉一些，我懷疑可能是光刻板沉了，需要比原來更高的真空度，但是泵不能提供那么大的真空度；其實(shí)我最重要的懷疑那個(gè)托盤的表面平整度不夠，導(dǎo)致漏氣，不能提供那么大的真空度（但是托盤的平整度是咱們說了不算的，還是先從自身找問題吧，） ..... 我還是繼續(xù)描述我們的情況吧。（說實(shí)話具體的情況我也不清楚，當(dāng)時(shí)試的時(shí)候不在現(xiàn)場，這個(gè)屬于半路接手吧。。。。。。。。。。。。。。）聽說是就是那個(gè)托盤吸附不住光刻板，但是不清楚怎么吸附不住光刻板，①是直接就不能能吸附住，沒有吸附的這個(gè)過程；②還是有吸附這個(gè)過程，但是因?yàn)槁猓ɑ蛘咂渌脑猓┞耐碌魧?dǎo)致的吸附不住。③我也不清楚吸附的是大一號的光刻板，④還是我們正常的光刻板，⑤還是大一號壞的光刻板（具體哪里壞了我也不知道，估計(jì)應(yīng)該不影響使用，但是可能影響吸附，因?yàn)槟莻�(gè)光刻板好像是在另一臺光刻機(jī)上使用上的不用把光刻板吸附在托盤上，直接放在上面就行）。 寫的好像有點(diǎn)啰嗦，我表達(dá)能力是不好的，。。。謝謝大家， 以上就是我了解的情況，和我自己的分析，希望各位蟲友有知道，給我指導(dǎo)一下，謝謝了，大家也幫我分析分析，如果有遇到過這用情況的幫我指點(diǎn)指點(diǎn)，最好了，先謝謝大家了。 能不能是做這個(gè)托盤已經(jīng)違反了物理，光刻板的重量（重力）大于這個(gè)托盤完全吸附時(shí)（所能提供的吸附力），他那個(gè)托盤中間是空的，（這個(gè)中空的筐更大了）上下壓力不提供相等不提供向上的壓力，吸附的力量只是靠大氣的壓力差（和抽真空的地方相比）把托盤從下壓到上，吸附住托盤，（現(xiàn)在的情況是光刻板更沉了，重力更大了，相反抽真空的面積更小了，提供從下向上的壓力更小了，所以吸附不住了。） |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
291求調(diào)劑
已經(jīng)有25人回復(fù)
-
一志愿北京科技大學(xué)085601材料工程英一數(shù)二初試總分335求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
一志愿北京科技，085601總分305求調(diào)劑
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
化學(xué)工程專碩324分，一志愿中國礦業(yè)大學(xué)求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
279求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
26年申博
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
材料工程322分
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
318求調(diào)劑，計(jì)算材料方向
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
292分，材料與化工，申請調(diào)劑
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
085600 295分求調(diào)劑
已經(jīng)有18人回復(fù)
叫我小川兄吧
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 8 (幼兒園)
- 金幣: 2332.9
- 散金: 1791
- 紅花: 17
- 帖子: 792
- 在線: 199.6小時(shí)
- 蟲號: 3226397
- 注冊: 2014-05-22
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
4樓2017-02-26 07:44:30
2樓2017-02-25 23:01:32
3樓2017-02-25 23:02:48
chlq314101a
至尊木蟲 (文壇精英)
- 應(yīng)助: 48 (小學(xué)生)
- 金幣: 28596.8
- 散金: 19387
- 紅花: 53
- 帖子: 39043
- 在線: 861.6小時(shí)
- 蟲號: 320023
- 注冊: 2007-03-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 環(huán)境污染化學(xué)
5樓2017-02-26 07:50:41
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿北京科技大學(xué)085601材料工程英一數(shù)二初試總分335求調(diào)劑 +6 | 雙馬尾痞老板2 2026-04-01 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 化學(xué)工程專碩324分，一志愿中國礦業(yè)大學(xué)求調(diào)劑 +6 | 耿耿1314 2026-04-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料專碩調(diào)劑 +17 | 椰椰。 2026-03-29 | 17/850 |
|
|
[考研] 求生物學(xué)調(diào)劑 +7 | 15172915737 2026-04-01 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿中國科學(xué)院大學(xué)265求調(diào)劑 +8 | 恬淡ye 2026-03-31 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料調(diào)劑 +10 | Eujd1 2026-03-31 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +3 | 迷蒙木木 2026-04-01 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 本2一志愿C9-333分，材料科學(xué)與工程，求調(diào)劑 +9 | 升升不降 2026-03-31 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085601英二數(shù)二求調(diào)劑 總分325 +4 | 余航航 2026-03-31 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 276求調(diào)劑 +3 | 趙久華 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 083000環(huán)境科學(xué)與工程調(diào)劑，總分281 +4 | 橙子（勝意） 2026-03-30 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 11408總分309，一志愿東南大學(xué)求調(diào)劑，不挑專業(yè) +5 | 天賦帶到THU 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研]
 105500藥學(xué)求調(diào)劑，一志愿山東大學(xué)藥學(xué)，348分
+3
|
gr哈哈哈 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 310求調(diào)劑 +10 | 爭取九點(diǎn)睡 2026-03-30 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +14 | junqihahaha 2026-03-26 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 343求調(diào)劑085601 +3 | 要努力學(xué)習(xí)x 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085600，專業(yè)課化工原理，321分求調(diào)劑 +5 | 大饞小子 2026-03-28 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +6 | 崔wj 2026-03-26 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 315分求調(diào)劑 +7 | 26考研上岸版26 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 081200-11408-276學(xué)碩求調(diào)劑 +4 | 崔wj 2026-03-26 | 4/200 |
|