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xiaozhuttt新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
su8-2015光刻求助 已有9人參與
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如題，光刻膠用的su8-2015，膠已經(jīng)過(guò)期了，不過(guò)一直避光在冰箱里保存，應(yīng)該還好。 想在硅片上做一些40*40um的正方形槽，深度30um左右。 工藝參數(shù)的話： 前烘65℃-15min 95℃-30min 曝光時(shí)間20s 后烘同樣65℃-15min 95℃-30min 參數(shù)是之前的師兄師姐留下的，所以問(wèn)題應(yīng)該不大 我做了幾次，有以下幾個(gè)問(wèn)題： 一是顯影以后正方形明顯變成了圓形，這個(gè)我懷疑是曝光模式的問(wèn)題，之前用的soft模式，后來(lái)改成hard模式就好了一些，不過(guò)還是會(huì)有這樣的變形。 更嚴(yán)重的是顯影以后圖案的深度嚴(yán)重不足，正方形槽的深度只有6-7um。另外，我的圖案上面還有100um寬的通道，用臺(tái)階儀看了一下，通道壁都是一個(gè)斜坡下去的，整個(gè)通道截面是倒梯形的，真正能達(dá)到30um的地方寬度差不多只有20um。我覺(jué)得是有膠沒(méi)有除盡。 哦對(duì)了，我用的是打印的菲林片做的掩膜，圖形的精度沒(méi)什么問(wèn)題，不知道是不是因?yàn)檫@種掩膜版曝光的時(shí)候衍射的緣故，造成通道壁的坡度比較差。 下面是之前顯微鏡拍的一張圖，抱歉手頭沒(méi)有更多的圖片了。 希望有碰到過(guò)類似問(wèn)題或者有經(jīng)驗(yàn)的幫幫忙，謝謝了！ su-8.jpg |
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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可以嘗試光繪菲林掩膜底線是20um 線寬 至于衍射問(wèn)題就不曉得了 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
6樓2016-11-05 16:20:06
xiaozhuttt
新蟲(chóng) (初入文壇)
2樓2016-11-03 12:34:25
叫我小川兄吧
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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顯影時(shí)間長(zhǎng)了，適當(dāng)降低時(shí)間看看 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2016-11-04 19:53:12
wl_0232
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
理工/瞎文藝/處女
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前烘、后烘時(shí)間都這么長(zhǎng)啊？衍射跟mask材質(zhì)關(guān)系不大，主要是尺寸吧？40um的精度應(yīng)該不會(huì)有嚴(yán)重的衍射問(wèn)題 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
5樓2016-11-05 08:28:31
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