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wellsalon

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[交流] SU8 2075 光刻出了大問(wèn)題

各位大神：

我們實(shí)驗(yàn)室用su8-2075做光刻實(shí)驗(yàn)，做了幾次總不成功，
也是剛學(xué)著做光刻，沒(méi)啥經(jīng)驗(yàn)
首先，感覺(jué)su8-2075，總是涂不勻，不知甩膠有啥技巧?
看su8膠說(shuō)明書(shū)，有edge bead removal (EBR)去邊環(huán)節(jié)，我們沒(méi)有去邊機(jī)，我們還是接觸式曝光機(jī)，不知這個(gè)厚邊有沒(méi)影響？
第二，勻膠完，總有氣泡，頭疼不已，
第三，光刻完，顯影結(jié)束，發(fā)現(xiàn)嚴(yán)重交聯(lián)（微結(jié)構(gòu)邊緣和微結(jié)構(gòu)間有白色膜去不掉)�。∵€發(fā)先圖像變形（如齒輪圖）��！
第四，顯微鏡下發(fā)現(xiàn)，零件邊緣有裂紋，也不知何原因！！
各位幫忙看看問(wèn)題出在那？謝謝
工藝過(guò)程：想得到200μm的厚度，勻膠轉(zhuǎn)速500r/min,5s；1250r/min,30s，前烘后烘時(shí)間都按說(shuō)明的來(lái)，曝光時(shí)間40s，顯影17min

希望各位賜教：）

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1樓 2015-07-30 17:45:00

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東方之殿free

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勻膠也是很重要的一個(gè)過(guò)程，有氣泡的話可能是滴膠時(shí)膠中帶有氣泡或者噴嘴尖端切口有問(wèn)題或帶刺，可以檢查下。另外，旋涂后可以測(cè)下膠的膜厚及均勻性，看下數(shù)據(jù)怎么樣

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有志者，事竟成

9樓2015-07-31 15:10:09

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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

曝光時(shí)間過(guò)短，顯影時(shí)間過(guò)長(zhǎng)導(dǎo)致膠連。

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14樓2015-10-22 10:06:05

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普通回帖

dmbb

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2樓2015-07-30 17:57:11

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gltsycw

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3樓2015-07-30 17:58:19

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核桃芝麻

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4樓2015-07-30 18:17:37

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vincentwz

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樓主的各項(xiàng)參數(shù)應(yīng)該自己是要確認(rèn)一下，不能完全按照data sheet來(lái)

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5樓2015-07-30 18:31:31

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引用回帖:

5樓: Originally posted by vincentwz at 2015-07-30 18:31:31
樓主的各項(xiàng)參數(shù)應(yīng)該自己是要確認(rèn)一下，不能完全按照data sheet來(lái)

您說(shuō)的對(duì)，可是，需要基本判斷問(wèn)題的原因，有針對(duì)性的改動(dòng)參數(shù)才好吧，沒(méi)方向，不知道，那個(gè)參數(shù)不合適啊。
希望，大神多指點(diǎn)指點(diǎn)

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6樓2015-07-30 18:36:17

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假大空

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7樓2015-07-30 18:40:50

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shenrenren

8樓2015-07-30 18:41:36

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引用回帖:

9樓: Originally posted by 東方之殿free at 2015-07-31 15:10:09
勻膠也是很重要的一個(gè)過(guò)程，有氣泡的話可能是滴膠時(shí)膠中帶有氣泡或者噴嘴尖端切口有問(wèn)題或帶刺，可以檢查下。另外，旋涂后可以測(cè)下膠的膜厚及均勻性，看下數(shù)據(jù)怎么樣

謝謝，如果不勻，是不是會(huì)造成曝光圖像的失真呢？

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10樓2015-07-31 15:42:13

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