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[交流]
SU8 2075 光刻出了大問題
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各位大神： 我們實驗室用su8-2075做光刻實驗，做了幾次總不成功， 也是剛學著做光刻，沒啥經(jīng)驗 首先，感覺su8-2075，總是涂不勻，不知甩膠有啥技巧? 看su8膠說明書，有edge bead removal (EBR)去邊環(huán)節(jié)，我們沒有去邊機，我們還是接觸式曝光機，不知這個厚邊有沒影響？ 第二，勻膠完，總有氣泡，頭疼不已， 第三，光刻完，顯影結(jié)束，發(fā)現(xiàn)嚴重交聯(lián)（微結(jié)構(gòu)邊緣和微結(jié)構(gòu)間有白色膜去不掉)��！還發(fā)先圖像變形（如齒輪圖）！！ 第四，顯微鏡下發(fā)現(xiàn)，零件邊緣有裂紋，也不知何原因�。� 各位幫忙看看問題出在那？謝謝 工藝過程：想得到200μm的厚度，勻膠轉(zhuǎn)速500r/min,5s；1250r/min,30s，前烘后烘時間都按說明的來，曝光時間40s，顯影17min 希望各位賜教：） 2.2.jpg 3.4 (4).jpg |
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9樓2015-07-31 15:10:09
14樓2015-10-22 10:06:05
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wellsalon(金幣+1): 謝謝參與
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2樓2015-07-30 17:57:11
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wellsalon(金幣+1): 謝謝參與
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3樓2015-07-30 17:58:19
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wellsalon(金幣+1): 謝謝參與
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4樓2015-07-30 18:17:37
vincentwz
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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5樓2015-07-30 18:31:31
6樓2015-07-30 18:36:17
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wellsalon(金幣+1): 謝謝參與
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7樓2015-07-30 18:40:50
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8樓2015-07-30 18:41:36
10樓2015-07-31 15:42:13
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