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濺射新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射 已有1人參與
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換了磁鋼前，鍍鉻層是銀白色的，換了后就成黃色的了。是我換磁鋼的時(shí)候，破壞了真空室的密閉性了，導(dǎo)致氮?dú)膺M(jìn)去了？還是濺射鉻靶的時(shí)候碳靶也被濺射了？為什么鉻層鍍出來(lái)是黃色的了？求大神賜教。 @chinaworm 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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6樓2017-05-19 22:07:51
濺射
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 53
- 帖子: 7
- 在線: 38分鐘
- 蟲號(hào): 5329009
- 注冊(cè): 2016-12-07
- 專業(yè): 碳素材料與超硬材料
2樓2017-05-16 08:59:10
at2046
銅蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 238.7
- 帖子: 41
- 在線: 15.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 2028428
- 注冊(cè): 2012-09-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
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以前也遇到這樣的問(wèn)題，后來(lái)發(fā)現(xiàn)是漏氣造成的，建議你仔細(xì)檢查設(shè)備是否漏氣，另外換磁鋼的時(shí)候要注意真空衛(wèi)生。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2017-05-19 07:34:32
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4樓2017-05-19 12:21:21
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