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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 碳素材料 » 磁控濺射
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[求助]
磁控濺射 已有1人參與
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換了磁鋼前，鍍鉻層是銀白色的，換了后就成黃色的了。是我換磁鋼的時候，破壞了真空室的密閉性了，導致氮氣進去了？還是濺射鉻靶的時候碳靶也被濺射了？為什么鉻層鍍出來是黃色的了？求大神賜教。 @chinaworm 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2017-05-16 08:59:10
at2046
銅蟲 (初入文壇)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 238.7
- 帖子: 41
- 在線: 15.4小時
- 蟲號: 2028428
- 注冊: 2012-09-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體晶體與薄膜材料
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以前也遇到這樣的問題，后來發(fā)現(xiàn)是漏氣造成的，建議你仔細檢查設備是否漏氣，另外換磁鋼的時候要注意真空衛(wèi)生。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2017-05-19 07:34:32
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4樓2017-05-19 12:21:21
5樓2017-05-19 14:11:19
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6樓2017-05-19 22:07:51
7樓2017-05-23 22:42:31
8樓2017-05-23 22:43:03
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9樓2017-05-23 22:48:57
10樓2017-06-21 16:17:31
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