在使用等離子清洗機（PLASMA）的過程中發(fā)現(xiàn)，當反應(yīng)氣體流量減小，進而轟擊強度增加的過程中，待處理的玻璃表面形成了一層5-20納米的沉積物。我們本來的目的是要將玻璃表層去除5-10納米，結(jié)果反而增加了。增加的這層?xùn)|西外觀上看不出來和玻璃本體材料有何區(qū)別，不經(jīng)過測量真是發(fā)現(xiàn)不了。后來經(jīng)過反復(fù)的實驗和各種測試方法驗證，確實證明增加了厚度。

我們采用的是氬氣作為反應(yīng)氣體，流量為5SCCM，轟擊時間30分鐘，處理的材料為一種玻璃材質(zhì)。

請問各位有經(jīng)驗的朋友，這種現(xiàn)象怎么造成的，新增的東西是什么，怎么經(jīng)過調(diào)整克服它？ 返回小木蟲查看更多