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請問等離子清洗后的玻璃表面沉積物+有效至5月5日
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在使用等離子清洗機（PLASMA）的過程中發(fā)現(xiàn)，當反應氣體流量減小，進而轟擊強度增加的過程中，待處理的玻璃表面形成了一層5-20納米的沉積物。我們本來的目的是要將玻璃表層去除5-10納米，結果反而增加了。增加的這層東西外觀上看不出來和玻璃本體材料有何區(qū)別，不經(jīng)過測量真是發(fā)現(xiàn)不了。后來經(jīng)過反復的實驗和各種測試方法驗證，確實證明增加了厚度。 我們采用的是氬氣作為反應氣體，流量為5SCCM，轟擊時間30分鐘，處理的材料為一種玻璃材質。 請問各位有經(jīng)驗的朋友，這種現(xiàn)象怎么造成的，新增的東西是什么，怎么經(jīng)過調整克服它？ |
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2樓2010-04-28 14:55:32
3樓2010-04-28 15:28:44
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4樓2010-04-28 15:41:28
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