曝氧量~真空度、氧氣吸附、吸附公式等問題
最近在調(diào)研氧氣在固體(硅)表面的吸附問題(主要調(diào)研吸附量~真空度的關(guān)系,也就是想說明在10-6~10-7 Torr左右表面還有氧氣吸附,最好有吸附公式)。
1. 文獻(xiàn)中多有提到曝氧量概念,英文一般為oxygen exposure,單位是 Langmuir (1 L = 1 X 10-6 Torr s). 搞不明白,曝氧量與真空度的關(guān)系是什么呢?
2. 有沒有氧氣在硅上吸附量~真空度的關(guān)系式(吸附公式)?其他固體也可以吧。附個文獻(xiàn)。
本求助截止于2012.2.23晚9點(diǎn)~~~~~~
望高人指點(diǎn)。
[ Last edited by 明光 on 2012-2-20 at 09:23 ]
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號
關(guān)于曝氧量,了解如下:
在表面科學(xué)中,用L(langmuir)表示氣體在樣品表面的暴露量,定義:
1L = 10-6 torr (1torr等于1毫米汞柱壓強(qiáng)=133Pa)
當(dāng)系統(tǒng)壓力為10-6 torr ,通入某氣體的時間為1秒,則暴露量就是1L,