鐵電薄膜的頂電極Au的顏色為何是暗色?
最近用磁控給鐵電薄膜做Au的頂電極時,發(fā)現(xiàn)Au電極的顏色不是金黃色,而是一種類似鐵銹的暗色,不知道眾位做鐵電薄膜的高手遇到過這個問題沒?這個對鐵電性能的測試是否有影響?大家做完電極測試鐵電性能的成功率高么?呵呵,初入此行,疑問頗多,希望高手們多指教。
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最近用磁控給鐵電薄膜做Au的頂電極時,發(fā)現(xiàn)Au電極的顏色不是金黃色,而是一種類似鐵銹的暗色,不知道眾位做鐵電薄膜的高手遇到過這個問題沒?這個對鐵電性能的測試是否有影響?大家做完電極測試鐵電性能的成功率高么?呵呵,初入此行,疑問頗多,希望高手們多指教。
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號
我以前做過,顏色是有點暗,不過一般都是做Pt上電極,我現(xiàn)在就是做的Pt。
那么你覺得是做Au好還是Pt好呢?看到很多文獻都是做的Au,所以才這樣,發(fā)現(xiàn)薄膜的鐵電性好難測吧,是否有這感受呢,呵呵
你用的什么底電極呢?如果是Pt,建議上電極一樣用Pt。你做的是什么薄膜,我看的文獻基本都是用Pt電極的。至于測試,不怎么難啊。
做的鈮酸鉀鈉,發(fā)現(xiàn)大部分文獻用的Au,測試時候老是一條直線,不知道有什么技巧沒,你做的是什么薄膜?br>,
PZT,可能是材料的原因,PZT很好測的。
樓主鍍了多長時間啊?時間短的話有可能是暗色,我一般鍍5分鐘是金黃色
鍍了5分鐘,功率80W,你做的什么材料啊,是否跟材料厚度有關(guān)哦?