鐵電薄膜的頂電極Au的顏色為何是暗色？
最近用磁控給鐵電薄膜做Au的頂電極時(shí)，發(fā)現(xiàn)Au電極的顏色不是金黃色，而是一種類似鐵銹的暗色，不知道眾位做鐵電薄膜的高手遇到過(guò)這個(gè)問(wèn)題沒(méi)？這個(gè)對(duì)鐵電性能的測(cè)試是否有影響？大家做完電極測(cè)試鐵電性能的成功率高么？呵呵，初入此行，疑問(wèn)頗多，希望高手們多指教。
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感覺(jué)應(yīng)該是真空度沒(méi)有抽夠的原因，你本底真空多少？
應(yīng)該不是吧，本底真空度都到-4了，是蒸鍍的時(shí)候吧
，