請(qǐng)問(wèn)視頻磁控濺射等離子體單個(gè)離子的能量大約在什么范圍？
比如國(guó)產(chǎn)磁控濺射臺(tái)，100W射頻功率，壓強(qiáng)0.5pa，Ar等離子的能量是多少ev?
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
和電壓有關(guān)系 一般認(rèn)為是電壓的一半如500V，Ar平均能量約為250eV
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