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690069175金蟲 (正式寫手)
頭兒
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[求助]
請問視頻磁控濺射等離子體單個離子的能量大約在什么范圍？
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| 比如國產(chǎn)磁控濺射臺，100W射頻功率，壓強0.5pa，Ar等離子的能量是多少ev? |
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銀蟲 (知名作家)
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【答案】應(yīng)助回帖
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690069175: 金幣+20, 博學(xué)EPI+1 2015-09-19 10:48:42
690069175: 金幣+20, 博學(xué)EPI+1 2015-09-19 10:48:42
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和電壓有關(guān)系 一般認為是電壓的一半如500V，Ar平均能量約為250eV 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2015-09-18 07:17:21
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