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690069175金蟲 (正式寫手)
頭兒
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[求助]
請問視頻磁控濺射等離子體單個(gè)離子的能量大約在什么范圍?
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| 比如國產(chǎn)磁控濺射臺,100W射頻功率,壓強(qiáng)0.5pa,Ar等離子的能量是多少ev? |

銀蟲 (知名作家)
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和電壓有關(guān)系 一般認(rèn)為是電壓的一半如500V,Ar平均能量約為250eV 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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