磁控濺射用的分子泵報(bào)警
在抽真空時(shí)，分子泵能正常工作。 可是到了關(guān)閉分子泵時(shí)，控制分子泵的模塊示數(shù)從400開始下降，下降到30左右時(shí)，機(jī)器就會(huì)報(bào)警�。。〔@示OLI，誰知道這是什么情況啊？？？這段時(shí)間一直這樣。。。。。。。。。。。
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自己頂一下吧
應(yīng)該翻看改分子泵的說明書。
參考：
檢查輸出線是否有短路現(xiàn)象；檢查前級(jí)真空度是否過低。
第18/28頁
https://www.docin.com/p-793944571.html
怎么檢查前級(jí)真空度是否過低
，
通過真空計(jì)看反應(yīng)室的真空度。前級(jí)真空度過低會(huì)造成反應(yīng)室反抽分子泵。
看樓主的描述應(yīng)該是反抽的可能性大。
反應(yīng)室和分子泵之間的閘板閥應(yīng)該在停分子泵時(shí)提前關(guān)閉，分子泵后面的機(jī)械泵應(yīng)繼續(xù)工作直至分子泵停轉(zhuǎn)為止。