磁控濺射用的分子泵報(bào)警
在抽真空時(shí),分子泵能正常工作。 可是到了關(guān)閉分子泵時(shí),控制分子泵的模塊示數(shù)從400開始下降,下降到30左右時(shí),機(jī)器就會(huì)報(bào)警。!并顯示OLI,誰(shuí)知道這是什么情況啊???這段時(shí)間一直這樣。。。。。。。。。。。
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
我們的也是這么操作的,難道是氣密性不好?。?
有可能。
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