我平時(shí)主要用ald沉積氧化物，比如氧化鋁、氧化鉿、氧化鋯、氧化鈦、氮化鈦；以上氧化物在平面上沉積的薄膜各方面質(zhì)量都非常好。最近在給一家公司做技術(shù)服務(wù)的時(shí)候，發(fā)現(xiàn)生長(zhǎng)的柱體樣品的時(shí)候會(huì)有輕微色差，請(qǐng)問(wèn)是什么原因，謝謝。

補(bǔ)充氮化鈦的速率交流一下

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