我平時主要用ald沉積氧化物，比如氧化鋁、氧化鉿、氧化鋯、氧化鈦、氮化鈦；以上氧化物在平面上沉積的薄膜各方面質(zhì)量都非常好。最近在給一家公司做技術服務的時候，發(fā)現(xiàn)生長的柱體樣品的時候會有輕微色差，請問是什么原因，謝謝。

補充氮化鈦的速率交流一下

[ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ] 返回小木蟲查看更多