磁控濺射不能啟輝
在1pa的濺射氣氛下，用直流電源120瓦濺射釩，不能啟輝，顯示的電壓一直在跳動(dòng)，只有兩三毫安的電流，不能啟輝，有沒有懂磁控的大佬，指點(diǎn)一下，給個(gè)解決問題的方向。
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