在1pa的濺射氣氛下,用直流電源120瓦濺射釩,不能啟輝,顯示的電壓一直在跳動,只有兩三毫安的電流,不能啟輝,有沒有懂磁控的大佬,指點一下,給個解決問題的方向。 返回小木蟲查看更多
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