我主要用原子層沉積(ALD)制備氧化物,比如氧化鋁、氧化鉿、氧化鋯、氧化鈦、氮化鈦;最近在給一家公司做技術服務的時候,發(fā)現(xiàn)生長樣品氧化鋁粗糙度0.3nm,但是氧化鉿,氧化鋯的有2nm,可能是什么原因?可以點我頭像具體技術交流,謝謝 返回小木蟲查看更多
很好
祝順利
祝好。∽:眠\連連。 ,
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