磁性鎳靶材鍍膜問題
我們實(shí)驗(yàn)室最近使用了鎳靶材進(jìn)行多靶磁控濺射鍍膜，但是鍍膜結(jié)果很不理想，想問下大家這個(gè)問題怎么解決。
我們的靶材是在一個(gè)5mm厚的銅背板上加了一個(gè)1.5mm厚的鎳靶，工作的時(shí)候使用直流電源300W，但是起輝的壓強(qiáng)特別高，需要到50Pa以上才能起輝，并且工作時(shí)實(shí)際功率很不穩(wěn)定，一直在100W上下跳動(dòng)，一會(huì)兒高一會(huì)兒低，輝光也是不穩(wěn)。。
我懷疑有幾個(gè)原因：
1.腔室真空度不夠。我們設(shè)備最近橡膠密封圈貌似有點(diǎn)問題，最高真空只能抽到1.5E-3左右
2.工作壓強(qiáng)到70Pa左右時(shí)實(shí)際功率能穩(wěn)定下來，但是壓強(qiáng)太高鍍膜的效果也會(huì)下降。。
麻煩有經(jīng)驗(yàn)的小伙伴分析下這個(gè)問題，謝謝大家~~！
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京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
腔體漏率確實(shí)大了，腔體清理下。防止局部位置短路
1.5E-3太差了，還是先修設(shè)備吧
好的，謝謝您的提議。。我們昨天也清理了一下腔體，今天還在抽，效果比之前要好一點(diǎn)，但是還是沒有達(dá)到剛換上這個(gè)設(shè)備時(shí)的抽真空速度，懷疑還是有其他地方有漏氣，這兩天再仔細(xì)看下
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謝謝您的建議！我們鍍其他靶材的時(shí)候效果其實(shí)還行，比如鈦靶材、銀靶材之類的，都能起輝并且工作壓強(qiáng)也能降下去，唯獨(dú)這個(gè)鎳靶特別難鍍。。�？纯凑婵斩染S護(hù)一下能不能改善下鎳
鎳靶本來就難鍍，鍍鎳的靶和別的靶磁場都不一樣，你要經(jīng)常鍍鎳應(yīng)該買個(gè)專用的靶
濺射鎳需要強(qiáng)磁靶槍
一般的靶槍不容易起灰
另外，沒有銅背托，效果會(huì)更好一些
設(shè)備不行，不建議強(qiáng)行實(shí)驗(yàn)，外加工單位很多