我們實(shí)驗(yàn)室最近使用了鎳靶材進(jìn)行多靶磁控濺射鍍膜，但是鍍膜結(jié)果很不理想，想問下大家這個(gè)問題怎么解決。

我們的靶材是在一個(gè)5mm厚的銅背板上加了一個(gè)1.5mm厚的鎳靶，工作的時(shí)候使用直流電源300W，但是起輝的壓強(qiáng)特別高，需要到50Pa以上才能起輝，并且工作時(shí)實(shí)際功率很不穩(wěn)定，一直在100W上下跳動(dòng)，一會(huì)兒高一會(huì)兒低，輝光也是不穩(wěn)。。

我懷疑有幾個(gè)原因：
1.腔室真空度不夠。我們?cè)O(shè)備最近橡膠密封圈貌似有點(diǎn)問題，最高真空只能抽到1.5E-3左右

2.工作壓強(qiáng)到70Pa左右時(shí)實(shí)際功率能穩(wěn)定下來，但是壓強(qiáng)太高鍍膜的效果也會(huì)下降。。

麻煩有經(jīng)驗(yàn)的小伙伴分析下這個(gè)問題，謝謝大家~~！ 返回小木蟲查看更多